1.真空灭弧室真空度失常
真空断路器运行时，正常情况下，其灭弧室的屏蔽罩颜色应无异常变化，真空度正常。若运行中或合闸之前(一端带电压)真空灭弧室出现红色或乳白色辉光，说明真空度下降，影响灭弧性能，应更换灭弧室。
2.真空断路器运行中断相
真空断路器接通高压电动机时，有时会出现断相，使电动机缺相运行而烧坏电动机。真空断路器出现合闸断相的可能原因是：
(1)断路器超行程(触头弹簧被压缩的数值)不满足要求，影响该相触头的正常接触。这可通过调节绝缘拉杆的长度，并重复测量多次，才能保证其超行程的正确性和接触的稳定性。
(2)断路器行程不满足要求。在保证超行程的前提下，通过调节分闸定位件的垫片，使三相行程均满足要求，并三相同步。
(3)由于真空断路器的触头为对接式，触头材料较软，在分、合闸数百次后触头易变形，使断路器超行程变化，影响触头的正常接触。
3.真空断路器合闸失灵
合闸失灵的原因是：
(1)电气方面的故障。电气方面的故障主要有：合闸电压过低(操作电压低于O.85额定电压)或合闸电源整流部分故障;合闸电源容量不够;合闸线圈断线或合闸线圈匝间短路}二次接线接错等。
(2)操动机构故障。操动机构的故障主要有：合闸过程中分闸锁扣未扣住，分闸锁扣的尺寸不对;辅助开关的行程调得过大，使触片变形弯曲，接触不良。
处理完上述缺陷后再合闸。
4.真空断路器分闸失灵
分闸失灵的原因主要是：
(1)电气方面的故障。主要故障有：分闸电压过低(操作电压低于0.85额定电压);分闸线圈断线;辅助开关接触不良。
(2)操动机构故障。主要故障有：分闸铁芯的行程调整不当;分闸锁扣扣住过量;分闸锁扣销子脱落。
上述缺陷应逐一检查消除。